Derzeit sind die Möglichkeiten UV-Strahlungen von 10 Nanometern Wellenlänge begrenzt. Verflüssigtes Xenon wird mit Laserstrahlen beschossen, so dass sich ein 250.000 Grad heisses Plasma bildet. Sobald sich die im Plasma getrennten Xenon-Ionen und Elektronen wieder vereinigen entsteht die gewünschte kurzwellige Strahlung. Die Forscher der Abteilung Plasmatechnik am Aachener Fraunhofer-Institut benutzen statt des Laser einen starken Stromimpuls von mehreren 10.000 Ampere, der das Xenon für weniger als eine Mikrosekunde erhitzt. Der starke Strom setzt darüber hinaus noch ein Magnetfeld frei, das das Edelgas zusätzlich erhitzt. Dadurch entsteht die gewünschte Strahlung auf kleinem Raum konzentriert.
Gegenüber anderen Methoden nimmt Abteilungsleiter Will Neff für diese Lösung deutliche Vorteile in Anspruch: "Unser Prinzip unterscheidet sich im wesentlichen durch die Art und Weise, wie die Elektronen der Gasladung angeordnet sind. Dadurch können wir das Ganze sehr kompakt aufbauen und kommen mit sehr geringen elektrischen Pulsstärken aus." Da man die Stromimpulse sehr oft wiederholen muss, bringt das eine bessere Effizienz. Allerdings ist die "Aachener Lampe" genannte Lichtquelle nur der erste Schritt einer neuen Produktionstechnik für die Computerchips der übernächsten Generation. Hinzu kommt, dass die Fertigung ins Vakuum verlegt werden muss. "Diese extrem kurzwellige Strahlung wird schon in Gasen sehr stark absorbiert, das bedeutet, dass man auch die ganze Technologie der Belichtungsmaschinen umstellen muss", erklärt Neff. So muss etwa die Transporttechnik für die Siliziumscheiben neu entwickelt werden. Die werden derzeit mit Vakuum-Saugnäpfen bewegt, im luftleeren Raum funktioniert das aber nicht mehr.
[Quelle: Mathias Schulenburg]
Gegenüber anderen Methoden nimmt Abteilungsleiter Will Neff für diese Lösung deutliche Vorteile in Anspruch: "Unser Prinzip unterscheidet sich im wesentlichen durch die Art und Weise, wie die Elektronen der Gasladung angeordnet sind. Dadurch können wir das Ganze sehr kompakt aufbauen und kommen mit sehr geringen elektrischen Pulsstärken aus." Da man die Stromimpulse sehr oft wiederholen muss, bringt das eine bessere Effizienz. Allerdings ist die "Aachener Lampe" genannte Lichtquelle nur der erste Schritt einer neuen Produktionstechnik für die Computerchips der übernächsten Generation. Hinzu kommt, dass die Fertigung ins Vakuum verlegt werden muss. "Diese extrem kurzwellige Strahlung wird schon in Gasen sehr stark absorbiert, das bedeutet, dass man auch die ganze Technologie der Belichtungsmaschinen umstellen muss", erklärt Neff. So muss etwa die Transporttechnik für die Siliziumscheiben neu entwickelt werden. Die werden derzeit mit Vakuum-Saugnäpfen bewegt, im luftleeren Raum funktioniert das aber nicht mehr.
[Quelle: Mathias Schulenburg]