Eine Lösung für dieses Problem fanden jetzt allerdings Forscher am Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT) in Itzehoe: "Wir verwenden ein flexibles Substrat, auf das zunächst eine Lötpaste aufgebracht und darauf wiederum Chip abgesetzt wird", erklärt Lars Bertels vom ISIT auf der Productronica 2003. Anschließend wird die Konstruktion einfach in einen Backofen geschoben und fest verschmolzen. Dadurch werde die Verarbeitung wesentlich vereinfacht. Selbst hauchdünne Chips von gerade 50 Mikrometer Dicke lassen sich so nahezu bruchsicher verarbeiten und sind überdies nach der Verschmelzung noch so stabil, dass sie anschließend mit herkömmlicher Technik aus dem Wafer gesägt werden können. Dazu passt eine weitere Neuerung: leitender Klebstoff, der kleinste Chips dauerhaft auch auf das Plastik etwa eines Skipasses bannt. "In diesem Klebstoff sind fein verteilt kleine, elektrisch leitende Partikel. Wenn die Chips mit ihren Kontakten und dem Klebstoff in das entsprechende Bauteil gepresst werden, stellen diese feinen Teilchen den elektrischen Kontakt her", berichtet Frank Leibinger von der Firma Delo-Klebstoffe.
Ein anderes Problem stellen dagegen Kleinstpartikel dar, die auf Mikrochips nichts zu suchen haben. Um sie auch bei einem Transport der empfindlichen Mikroprozessoren von einem Produktionsschritt zum nächsten fernzuhalten, entwickelten Ingenieure des Instituts für Werkzeugmaschinen und Betriebswissenschaften der Technischen Universität München eine berührungslose Form der Lagerung, schildert Adolf Zitzmann: "Weil man für so genannte Luftlager fremde Medien in die Reinräume einbringen muss, besitzt diese Methode Nachteile. Wir setzen daher Ultraschall ein, der wie bei Luftlagern einen tragenden Luftfilm erzeugt." Durch die unterhalb des Wafers erzeugte hohe Frequenz wird Luft in einem dünnen Spalt unter dem Transportgut hoch verdichtet und lässt es von einer Maschine zur nächsten sanft schweben. Damit das Bauteil aber auch vorankommt, ohne dazu angestoßen werden zu müssen, ließen sich die Techniker einen simplen Trick einfallen: Die Transportwege werden schlicht bergab angelegt.
[Quelle: Wolfgang Nitschke]